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CVD系統(tǒng)

CVD系統(tǒng)

CVD系統(tǒng)產(chǎn)品簡(jiǎn)介常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空體統(tǒng)三部分組成。改系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛或真空環(huán)境下的小樣品試驗(yàn)。每個(gè)部分都
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產(chǎn)品介紹
CVD系統(tǒng)152


CVD系統(tǒng)
 
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
 常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空體統(tǒng)三部分組成。改系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛或真空環(huán)境下的小樣品試驗(yàn)。每個(gè)部分都可以單獨(dú)匹配成不同部件以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件，如流量計(jì)可以選擇浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)，單通道或多通道，管式爐可以選擇1200℃/1500℃/1700℃單溫區(qū)或者多溫區(qū)爐子。
 
主要參數(shù)
型號(hào) QJ1200-CVD60 QJ1700-CVD60
工作溫度 ≤1100℃ ≤1600℃
升溫速率 10℃/min 10℃/min
氣體預(yù)熱區(qū) 無(wú) 200mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度 200/440mm 200/300mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 100/220mm 50/100mm
管徑 50/6/80/100mm 50/60/80mm
控溫方式 30段PID程序控溫 30段PID程序控溫
真空泵 機(jī)械泵/分子泵 機(jī)械泵/分子泵
真空度 ≤10-3Pa ≤10-3Pa
進(jìn)氣種類 1~4種 1~4種