PECVD系統(tǒng)

PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品簡介為了降低化學(xué)沉積溫度，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，這種CVD系統(tǒng)稱之為等離子體增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），

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產(chǎn)品介紹

PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介
為了降低化學(xué)沉積溫度，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，這種CVD系統(tǒng)稱之為等離子體增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），該設(shè)備可以根據(jù)氣體的種類數(shù)量、射頻功率大小、氣體是否需要預(yù)熱、沉積所需溫區(qū)隨意定制。

主要參數(shù)

型號	QJ1200-PE60	QJ1200-PE60Y
工作溫度	≤1000℃	≤1000℃
升溫速率	10℃/min	10℃/min
氣體預(yù)熱區(qū)	無	200mm
沉積區(qū)長度	200mm	440mm
恒溫區(qū)長度	100mm	220mm
石英管管徑	50/60mm	50/60/80/100mm
控溫方式	30段PID程序控溫	30段PID程序控溫
射頻功率	100/300/500W自匹配	100/300/500W自匹配
射頻頻率	13.56Mhz	13.56Mhz
真空泵抽速	4L/s	4L/s
真空度	≤10Pa	≤10Pa
進(jìn)氣種類	1~4種	1~4種
功率	220V/4kw	220V/7kw

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